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マスフローコントローラー 10SLM Air C1020-4S2-10L-Air
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商品詳細情報
| 管理番号 |
新品 ：3032572049
中古 ：3032572049-1 |
メーカー | マスフローコントローラー | 発売日 | 2025/01/30 21:11 | 定価 | 127857円 | ||
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| カテゴリ | |||||||||
マスフローコントローラー 10SLM Air C1020-4S2-10L-Air
マスフローコントローラー 10SLM Air C1020-4S2-10L-Air その他特徴熱式流量センサーにより、温度補正回路無しで高い流量精度です。スタート時のフローサージ現象を抑制します（30秒以上のインターバルが必要）。仕様流量（SLM）：10ガス：Air流量精度：±2％FS（精度保証範囲15～35）再現性：±0.2％FS流量制御範囲：5～100％FS流体：気体使用可能温度：5～50 85%RH以下応答性：6sec動作圧力範囲：50～300kPa耐圧：1MPa（G）外部リークレート：1×10^-7Pa･m3/sec（He）以下接ガス部材質：SUS316・PTFE・フッ素ゴム表面処理：機械加工仕上げ継手：1/4in.SWL相当入出力：アナログ信号（0～5VDC）バルブ形式：N/O ノーマルオープン駆動電源：+15VDC±5% 60mA、－15VDC±5% 150mA通信方式：アナログ0～5VDC（D-Sub9Pinコネクタ）サイズ：160×33.6×105mm
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